【読み方】「じょうちゃく」【英】Vapor Deposition
蒸着は、真空状態の容器内で材料を加熱して気化させ、対象となる基板の表面に付着させて薄膜を形成する製造技術。ペロブスカイト太陽電池の製造では、極めて均一で不純物の少ない高精度な発電層や電極を形成できるのが特徴である。
液状の材料を基板に塗るインクジェット印刷やスピンコートなどの手法に対し、蒸着は分子レベルで材料を積み重ねるため、膜の厚さや成分をナノメートル単位で厳密に制御できる。特に、水分や酸素を嫌う材料を扱う場合や、複数の層を精密に重ねるタンデム型太陽電池の製造過程で高い性能を発揮する。一方で、高真空状態を作り出し維持するための大型設備が必要となり、エネルギー消費量や製造コストが大きい。
